Face-To-Face Transducer Frequenz 400 kHz / 1 MHz

Reinigung von Substraten und Halbleiter-Wafern bis 300 mm Durchmesser im Single Prozess Hermetisch gekapselter Transducer aus Kunststoff PFA zur Montage in einem definierten Abstand über dem rotierenden Substrat. Zur Übertragung der Ultrasonic-Energie muss während des Betriebes immer ein Flüssigkeitsfilm zwischen der Substratoberfläche und der aktiven Transducer-Unterseite vorhanden sein. Die Ultrasonicenergie wird homogen mit gleichmäßiger Leistungsverteilung über eine aktive Piezo-Transducerfläche von z.B. 150 x 25 mm rechtwinklig auf das Substrat übertragen.